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伺服系统 气浮平台系列
气浮平台系列
高性能直驱气浮平台，，，，，，，拥有高动态性能与纳米级定位精度 。 。。。。。。通过直线电机驱动，，，，，，，团结正负压设计，，，，，，，有用应对概略积负载在气浮导轨上的重力不匀称分部，，，，，，，可以更好地包管空气导轨的正常气隙
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产品特点
定制化需求
可凭证客户需求举行评估定制
气浮直驱
使用空气弹性势能作为支持导轨，，，，，，，实现滑轨与滑台零摩擦、镌汰误差
高精度定位
具备很是优异的动态性能、定位精度、速率稳固性和高区分率
应用领域
大型光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、细密制造和封装、丈量检测、生物样片加工及视察、同步加速研究、细密制造、光学对
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直为高精度定位平台产品
3.34
2022-11-01
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